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FUI15 Multiss
Consortium
Le projet MULTISS, de l’appel à projet FUI15 au printemps 2013, regroupe un consortium composé de deux industriels (ISP System porteur du projet, et Teem Photonics ), deux laboratoires (LISV de l’UVSQ et LNIO/ICD de l’UTT), et d’une association (Alphanov). Il a été labellisé par trois pôles de compétitivité (Aerospace Valley , Minalogic et La route des lasers ).
Objectifs scientifiques
L’objectif de MULTISS est de développer un produit ultra-compétitif dans le domaine du nano-positionnement qui comporte :
Contact : luc.chassagne@uvsq.fr
Le projet MULTISS, de l’appel à projet FUI15 au printemps 2013, regroupe un consortium composé de deux industriels (ISP System porteur du projet, et Teem Photonics ), deux laboratoires (LISV de l’UVSQ et LNIO/ICD de l’UTT), et d’une association (Alphanov). Il a été labellisé par trois pôles de compétitivité (Aerospace Valley , Minalogic et La route des lasers ).
Objectifs scientifiques
L’objectif de MULTISS est de développer un produit ultra-compétitif dans le domaine du nano-positionnement qui comporte :
- une table électromagnétique de déplacement de 10mm de course avec une répétabilité de l’ordre de 10 nm, compatible UHV et offrant des rectitudes angulaire et planaire respectivement meilleures que ±0.5µrad et ±30nm ; cette platine est associée à son électronique de commande 24 bits. Cette platine est instrumentée par le capteur interférométrique décrit ci-dessous.
- un interféromètre miniature en optique intégrée de résolution subnanométrique, de bande passante supérieure à 50kHz et compatible, avec une source laser de stabilité chromatique relative > 10-7.
Cet ensemble sera compétitif par rapport à l’étude de marché effectuée. L’état de l’art indique pour sa part qu’aucun industriel au monde, et a fortiori en France, ne commercialise de platine offrant l’ensemble de ces caractéristiques.
- un interféromètre miniature en optique intégrée de résolution subnanométrique, de bande passante supérieure à 50kHz et compatible, avec une source laser de stabilité chromatique relative > 10-7.
Cet ensemble sera compétitif par rapport à l’étude de marché effectuée. L’état de l’art indique pour sa part qu’aucun industriel au monde, et a fortiori en France, ne commercialise de platine offrant l’ensemble de ces caractéristiques.
Retombées sur les champs applicatifs
Les deux laboratoires impliqués réaliseront des mises en applications au fur et à mesure de l’avancement du projet grâce aux livrables intermédiaires. Cela permettra de démontrer les possibilités dans de nombreux champs applicatifs afin d’ouvrir de nouveaux champs exploratoires en R&D : applications à explorer dans les domaines de la microélectronique, la photonique les biotechnologies, la microscopie, la lithographie, la métrologie des matériaux et de surface, etc.
Les deux laboratoires impliqués réaliseront des mises en applications au fur et à mesure de l’avancement du projet grâce aux livrables intermédiaires. Cela permettra de démontrer les possibilités dans de nombreux champs applicatifs afin d’ouvrir de nouveaux champs exploratoires en R&D : applications à explorer dans les domaines de la microélectronique, la photonique les biotechnologies, la microscopie, la lithographie, la métrologie des matériaux et de surface, etc.
Contact : luc.chassagne@uvsq.fr